问答题
简答题 什么叫化学输运和化学蒸气淀积，它们之间有何区别？
【参考答案】
化学输运：借助适当气体介质与欲生长物（源物质）发生反应而生成一种气态化合物，这种气态化合物在淀积区发生逆向反应，使源物质重新淀积出来。其中气体输运介质叫做输运剂，所形成的气态化合物叫做输运形式。
化学蒸气淀积：利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上反应生成固态沉积物的技术。通过两种或多种汽相反应物在一热衬底上相互反应完成。
主要有以下类型：
1.热解法：主要用于制备金属、半导体、绝缘体等材料。
2.卤化物还原：主要用于生长元素晶体，特别是硅和锗。两种或更...
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