在硅片厂一些特种气体是通过气体配送（BGD）系统以安全、清洁和精确的方式输送到不同的工艺站点。（）

目前使用的半导体材料主要有元素半导体、化合物半导体和杂质半导体三大类。（） 点击查看答案&解析

集成电路生产过程中需要的环境的洁净度的等级都是一样的。（） 点击查看答案&解析