简答题 什么是ARL直读光谱透镜的定位校正原理？

【参考答案】

介绍一种透镜定位方法。当在平行于光轴的方向上振动物镜时，物镜或基片上形成有抗蚀剂材料膜的母盘被移动，从而改变物镜和母盘表......

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