简答题 在化学气相薄膜沉积过程中可控制的变里有那些？涉及那几个基本过程？

【参考答案】

气体流量、气体组分、沉积温度、气压、真空室几何构型等。
因此，化学气相沉积涉及三个基本过程：
（1）反应......

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