多项选择题
A.电子束表面改性B.离子渗碳技术C.激光表面处理D.离子注入表面改性
A.离子渗金属B.离子碳氮共渗C.离子渗氮D.离子渗碳
A.气相物质的产生B.气相物质在工件表面沉积形成固态薄膜C.沉积材料蒸发D.气相物质的输运