问答题

简答题 列出氧化硅的五种主要物理参数，并说明实际中如何测试氧化层厚度。

【参考答案】

密度，折射率，电阻率，介电强度，（相对）介电常数。
实际中可用折射率，介质强度和介电常数来测量。

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