利用化学气相沉积法和物理气相沉积法均可以获得非晶硅膜。

多晶硅的铸锭工艺主要有定向凝固法和浇铸法两种。 点击查看答案&解析

单晶硅锭的制备方法很多，目前国内外在生产中主要采用溶体直拉法和辉光放电法。 点击查看答案&解析