在硅片厂一些特种气体是通过气体配送（BGD）系统以安全、清洁和精确的方式输送到不同的工艺站点。（）

目前使用的半导体材料主要有元素半导体、化合物半导体和杂质半导体三大类。（） 点击查看答案&解析

氮气的作用是气化后可作为吹扫气体，也可作为降温用。（） 点击查看答案