简答题 说明氧化气氛对扩散有何影响及原因？

【参考答案】

与中性气氛相比，在热氧化气氛中进行的扩散，杂质的扩散系数和浓度分布均发生变化。由于氧化导致自间隙硅原子的产生，故对于硼，......

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