简答题 举例说明用于微电子器件制造的主要衬底材料类型。

【参考答案】

微电子器件的衬底材料主要有三种：
（元素）半导体（硅，锗）；
化合物半导体（砷化稼，磷化稼，磷化铟）......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)