光化学腐蚀制备掩膜采用（）受到光照射而凝固，不受光的部分仍然为液态，这实质上是将化学加工常规制备掩膜时的（）和（）两道工序合二为一。

光化学腐蚀也叫（）。 点击查看答案

过切量与腐蚀深度之比值称为（）。 点击查看答案