简答题 简述离子束加工为什么达到最微细加工

【参考答案】

离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描，共聚焦光斑可达1μm以内，因而可以精确控制尺寸范围。离子束轰击材料是逐层去除原子......

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