单项选择题
A.集中控制方式 B.主从控制方式 C.分散控制方式 D.点位式
A.自由度 B.工作空间 C.提取重力 D.运动速度
a.离子束刻蚀、激光刻蚀 b.干法刻蚀、湿法刻蚀 c.溅射加工、直写加工