填空题
光栅尺栅距为0.02mm,主光栅与指示光栅相对位移,计数器计得脉冲数为500,则位移为(),其分辨力为(),若加细分电路4细分,则其最小分辨位移为()。
【参考答案】
10mm;0.02mm;5um
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