一厂超纯水送水水质Partical值不允许超过（）.（单位＞0.5um（个/ml））

一厂超纯水送水水质DO值不允许超过（）ppb。

A.5
B.10
C.15

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一厂超纯水送水水质TOC值不允许超过（）ppb。

A.1
B.2
C.5

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