要保证退火炉内的露点要求，纯化后的氮气的露点要小于（）。

还原退火炉内，保护气体H2浓度越高，则基板表面氧化膜被还原的速度（）。

A.越快
B.越慢
C.无变化

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还原退火炉正常生产时，要保证炉内始终（）。

A.微正压
B.微负压
C.与外界等压

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