单项选择题
a.气压传动机器人 b.液压传动机器人 c.电器传动机器人 d.智能机器人
a.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工； b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工； c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；
A.电子束曝光技术 B.离子束曝光技术 C.X射线曝光技术