单项选择题
A.电子束曝光技术 B.离子束曝光技术 C.X射线曝光技术
A.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工 B.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工 C.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构
A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗 B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散 C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原