Cryo Pump（冷冻泵浦）正常使用的温度是（）。

四层警示灯号中绿色所代表的动作是（）。

A.手动模式
B.自动模式
C.系统异常故障发生
D.离子清洁﹐镀膜中

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一般溅镀使用制程气体爲Ar，下列原因（）是错误的？

A.价格合理
B.易发生反应
C.容易取得
D.撞击能量大

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