简答题 简述ELA技术制备LTPS TFT的缺点，针对ELA技术的问题有哪些解决方案？

【参考答案】

ELA技术的缺点是：
1）激光器昂贵、光学和机械系统复杂，制作成本高；
2）由于激光尺寸的限制，非晶......

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