单项选择题

以下关于MEMS分类的描述中,错误的是()。

A.特征尺才通常是指集成电路中半导体器件的最大尺寸
B.特征尺寸在1mm~10mm的为小型机械
C.特征尺寸在lμm~1mm的为微型机构
D.特征尺寸在1nm~1μm的为纳米机械