单项选择题
A.特征尺才通常是指集成电路中半导体器件的最大尺寸B.特征尺寸在1mm~10mm的为小型机械C.特征尺寸在lμm~1mm的为微型机构D.特征尺寸在1nm~1μm的为纳米机械
A.高灵敏度B.体积小C.响定时间长D.低功耗
A.由敏感与转换元件组成B.能感受到被测的物理量C.能将检测到的信息按定规律编码后输出D.满尼感知信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制的要求