简答题 扫描电镜的分辨率受哪些因素的影响？用不同物理信号成像时，其分辨率有何不同？所谓扫描电镜的分辨率是指何种信号成像的分辨率？

【参考答案】

影响因素：电子束束斑大小，检测信号类型，检测部位原子序数。
SE和HE信号的分辨率最高，BE其次，X射线的最低......

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