单项选择题
A．离子源+收集器 B．真空室 C．分析器 D．A+C
A．熔于材料的氢、氧、氮、和碳的氧化物和材料本身引起的气体渗漏 B．材料表面的污染和材料表面吸附的气体 C．A+B D．以上都不正确
A．影响真空室的极限压力和工作压力 B．在真空系统停止抽气后，造成真空室压力升高；有些放气会污染监测系统 C．影响真空泵的性能和寿命 D．以上都是