填空题

凡能产生真空的设备称为真空泵。常用的真空泵有:(1)()泵,能产生()Pa~()Pa的()真空;(2)()泵,它必须用()泵作为前级泵,可获得()Pa~()Pa的()真空;(3)()泵和(4)()泵,两者串联可获得()Pa的()真空。

【参考答案】

机械;1;0.1;低;扩散;机械;10-4;10-7;高;吸附;钛;10-8;超高