多项选择题

油扩散泵的优点是什么（）？

A.构造简单、故障少
B.价格低廉
C.低振动低噪音
D.可高速运转

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多项选择题
离子溅射泵的特点是什么（）？

A.无机械运动部分
B.无振动
C.无需再生
D.无噪音
多项选择题
属于高真空泵的是哪一种（）？

A.分子泵
B.扩散泵
C.油回转泵
D.低温泵
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