MEMS技术的特点：（） A .微型化 B .以硅为主要材料，机械电器性能优良 C .批量生产 D .集成化 E .多学科交叉

【参考答案】

答案：A

解析： MEMS技术的特点包括微型化、以硅为主要材料、机械电器性能优良、批量生产、集成化以及多学科交叉。