刻蚀是用()或()方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料，从而把光刻胶上的图形转移到薄膜上的过程。

【参考答案】

物理；化学
解析：刻蚀是用物理或化学的方法有选择的从硅片表面去除不需要的材料的过程，目的是腐蚀未被光刻胶覆盖的硅......

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